针对在半导体工程中有层间或段差区域, 把FOUP上下运送的设备。
| 产品范围 | FOUP, FOSB, Megazine, Tray, Cassette |
| 额定负载 | Max20Kg |
| 运行速度 | Max250m/min |
| 输送高度 | Max40m |
| 洁净环境 | Class 100 - Class 1000 |
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