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半导体AMHS物流系统

Semiconductor AMHS Logistics System

Automatic Material Handling System，针对半导体车间的自动物料搬送系统。

核心单机设备

Essential Single Equipment

STK Foup存储系统

OHT 空中搬送系统

AGV 自动输送系统

Tower Lift 楼层提升系统

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